VICTREX®PEEK®聚合材料、VICOTE™涂料和APTIV™薄膜等高性能材料的領(lǐng)先全球制造商英國(guó)威格斯公司(Victrex plc)近日宣布，基于VICTREX®PEEK®聚合材料的VICOTE涂料已被光電、半導(dǎo)體設(shè)備制造商擎邦國(guó)際科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用，被應(yīng)用于制造2", 8", 12", 甚至更大的晶圓以及LCD面板的中大型旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂(SPIN/DIP)設(shè)備系列上。VICOTE 804 BLK憑借其優(yōu)異耐化學(xué)腐蝕性、耐高溫性與絕佳的附著力，成功地取代了原有的PTFE涂層。VICOTE涂料可減少涂布機(jī)在顯影、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中所產(chǎn)生的發(fā)塵量。這不但可延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，減少設(shè)備維修，更可大幅提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率。
在半導(dǎo)體或LCD制造過(guò)程中，光刻(photolithography)是最關(guān)鍵也是最困難的步驟。光阻劑、蝕刻液與顯影液需透過(guò)旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂方式，才可以在晶圓與玻璃基板面板上完成制造(fabrication)。面對(duì)強(qiáng)酸堿化學(xué)物質(zhì)與高溫等極為嚴(yán)苛的制造環(huán)境，設(shè)備的穩(wěn)定與均勻性直接影響晶圓與LCD面板的成品率。
擎邦無(wú)塵室事業(yè)部廠長(zhǎng)黃可強(qiáng)表示：“從終端用戶的角度出發(fā)，采用VICOTE涂料可減少設(shè)備維修與停工時(shí)間，進(jìn)而提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率。之前所采用的PTFE在顯影、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中，經(jīng)冷熱循環(huán)、受強(qiáng)酸堿化學(xué)物質(zhì)以及高溫環(huán)境所影響，PTFE涂層容易掉落，從而導(dǎo)致頻繁維修旋轉(zhuǎn)噴涂設(shè)備。但自從采用VICOTE涂料后，至今都還沒(méi)接到維修需求。目前用于制造8”以上晶圓與LCD面板的中大型旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂涂布機(jī)系列都已采用VICOTE804 BLK涂料。”
威格斯臺(tái)灣區(qū)經(jīng)理李自立指出：“隨著半導(dǎo)體工業(yè)向更大晶圓尺寸、更高密度、更嚴(yán)苛的化學(xué)以及高溫加工生產(chǎn)環(huán)境發(fā)展，引進(jìn)先進(jìn)的材料和加工技術(shù)已成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性與極佳的基材附著力及耐化學(xué)腐蝕性，可大幅度減少顆粒產(chǎn)生量，并能承受大部分的化學(xué)物質(zhì)侵蝕。制造設(shè)備的關(guān)鍵性零件通過(guò)采用VICOTE涂料，可延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命與減少設(shè)備維修需求。通過(guò)不同的產(chǎn)品供應(yīng)形式(粉末涂料與分散液涂料)，可為終端用戶提供靈活且符合經(jīng)濟(jì)效益的應(yīng)用模式。這次與擎邦的合作也進(jìn)一步證明VICTREX PEEK是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最理想的材料選擇。”
VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料，分為粉末與分散液涂料兩種，提供優(yōu)異的抗刮傷、耐磨性、耐高溫、高強(qiáng)度和耐久性。環(huán)保的VICOTE涂料的研發(fā)成功填補(bǔ)了當(dāng)今涂料技術(shù)領(lǐng)域在性能上的不足。無(wú)論是用于工業(yè)、汽車、食品加工、半導(dǎo)體、電子或者醫(yī)藥領(lǐng)域，VICOTE涂料都是工程師們的理想選擇。可幫助工程師在應(yīng)用過(guò)程中提升產(chǎn)品的耐摩擦性，延長(zhǎng)設(shè)備中涂裝組件的使用壽命。VICOTE涂料可用靜電或傳統(tǒng)的分散液技術(shù)進(jìn)行涂裝。
