3月12日,由湖南南方搏云新材料有限責任公司和中南大學共同完成的“碳纖維增強碳基體復合材料及硅晶體生長爐熱場研制與開發”項目在長沙通過了湖南省科技廳組織的科技成果鑒定。
專家認為,該成果根據硅晶體生長爐熱場系統零件的功能,成功設計了低密度、高中密度、密度梯度三類碳/碳復合材料,產品種類齊全。材料的主要性能參數符合制造硅晶體生長爐熱場系統要求,促進我國高端半導體生產所需的熱場材料跨上了一個新的臺階。并且系統地開發了擁有自主知識產權的碳纖維增強碳基體材料生產工藝,有效保證了產品的性能和質量。在國內的硅晶體熱場系統中,首次成套地采用碳/碳復合材料,擁有硅晶體生長爐熱場材料制品、制備工藝和成套設備的核心技術,產品填補了國內空白,總體技術達到國際先進水平。
目前,項目承擔單位已自主研發了直徑達到1520mm的國內最大的整體式碳/碳復合材料加熱器和碳/碳固化保溫件,具有使用可靠、操作方便、運營經濟、節能環保、減少電網污染等一系列優點,能夠有效地提高硅晶體生產效率,降低生產能耗。項目孵化期年產值已達2330萬元,用戶反映良好,具有廣闊的市場前景和產業化基礎。