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非晶硅(a-Si TFT)與低溫多晶硅(LTPS TFT)的區別

時間:2004-09-24
關鍵詞:晶硅 TFT 低溫 多晶 LTPS TFT 區別

什么是低溫多晶硅:

    低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫,一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應低于攝氏600度,尤其對LTPS區別于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)要求更是如此。與a-Si相比,LTPS的電子移動速度要比a-Si快100倍,這個特點可以解釋兩個問題:首先,每個LTPS PANEL 都比a-Si PANEL反應速度快;其次,LTPS PANEL 外觀尺寸都比a-Si PANEL小。下面是LTPS與a-Si 相比所持有的顯著優點:
1、 把驅動IC的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強;
2、 反應速度更快,外觀尺寸更小,聯結和組件更少;
3、 面板系統設計更簡單;
4、 面板的穩定性更強;
5、 解析度更高,

激光退火:

   

    p-Si 與 a-Si的顯著區別是LTPS TFT在制造過程中應用了激光照射。LTPS制造過程中在a-Si層上進行了激光照射以使a-Si結晶。由于封裝過程中要在基板上完成多晶硅的轉化,LTPS必須利用激光的能量把非結晶硅轉化成多晶硅,這個過程叫做激光照射。

電子移動性:

   


    a-Si TFT的電子移動速率低于1 cm2/V.sec,同時驅動IC需要較高的運算速率來驅動電路。這就是為什么a-Si TFT不易將驅動IC集成到基板上。相比之下,p-Si電子的移動速率可以達到100 cm2/V.sec,同時也更容易將驅動IC集成到基板上。結果是,首先由于將驅動IC、PCB和聯結器集成到基板上而降低了生產成本,其次使產品重量更輕、厚度更薄。

解析度:

    由于p-Si TFT 比傳統的a-Si小,所以解析度可以更高。  

穩定性:

    p-Si TFT的驅動IC合成在玻璃基板上有兩點好處:首先,與玻璃基板相連接的連接器數量減少,模塊的制造成本降低;其次,模塊的穩定性將得以戲劇性的升高。

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