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The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates
關(guān)鍵詞: EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices
類 別: 復(fù)合材料 >> 樹脂基復(fù)合材料
來 源: 2009年第四屆中歐增強高聚物工藝與性能國際學(xué)術(shù)會議(桂林,June 8-12)
資料類型: pdf文件
資料大小: 319K
簡 介: Fabricating epoxy SU-8-based microfluidic and photonic devices on glass substrates,
such as pyrex wafers, has proven to be very difficult. The reason is that it is hard to
completely remove residual material between patterned structures while obtaining
sufficient bonding of the structures to the pyrex surface.
上傳人: magicpower
上傳時間: 2009-08-03 9:58:51
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