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  日前åQŒç”µå·¥ç ”½I¶æ‰€è”合中国计量¿U‘学院、国家纳¾c³ç§‘学技术中心共同研制成功国内首套可溯源计量型扫描电子显微镜ã€?/span>

  电工所在高分èöL力场发射扫描电子昑־®é•œçš„基础上,加装‹È€å…‰å¹²æ¶‰äÈA‹¹‹è·çš„纳¾c³çñ”高精度位¿UÕd°, òq¶æå‡ÞZº†é‡‡ç”¨æ­¥è¿›æ‰«æä»£æ›¿ä¼ ç»Ÿç”µå­æŸæ‰«æçš„囑փèŽ·å–çš„åˆ›æ–°æ–¹æ³•ã€‚è¯¥æ–ÒŽ³•可直接关联图像扫描与‹È€å…‰å¹²æ¶‰äÈA的位¾|®æµ‹é‡ï¼Œå®žçްå¯ÒŽ ·å“çº³¾c³ç»“构扫描成像的量值溯源,有效减少电子束扫描成像过½E‹ä¸­æ”‘Ö¤§å€çŽ‡æ³¢åŠ¨å’Œæ‰«æçº¿åœˆéž¾U¿æ€§ç‰¹å¾åœ¨¾U³ç±³ž®ºåº¦‹¹‹é‡ä¸­äñ”生的误差åQŒä»Žè€Œå®žçŽ°å¯¹æ ·å“¾U³ç±³¾l“构的溯源测量ã€?/span>

  该设备的研制成功å¯ÒŽˆ‘国纳¾c›_°ºåº¦è®¡é‡æ ‡å‡†çš„制定、扫描电子显微镜及其它纳¾c›_°ºå¯¸æµ‹é‡äÈA器的校准、纳¾cÏx ‡æ ·å’Œæ ‡ç‰©çš„æ ¡å‡†ã€å‚与国际长度比对等斚w¢ž®†è“v到重要作用ã€?/span>

可溯源计量型扫描电子昑־®é•?                 1um二氧化硅微球成像å›?/span>

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åQˆè´£ä»È¼–辑:xuåQ?
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