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R.F. 磁控濺射生成的氧化鎢薄膜的性能 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
氧化鎢薄膜 電致變色 r.f.磁控濺射 |
| 資料大小： |
119K |
| 所屬學(xué)科： |
性能表征 |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡介： |
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由于薄膜沉積過程中缺乏氧氣，濺射得到的是化學(xué)配比偏離WO3的氧化鎢薄膜，本文詳細(xì)研究了不同電壓下，R.F磁控濺射生成的不同化學(xué)配比的氧化鎢薄膜的伏安循環(huán)特性；發(fā)現(xiàn)它們在一定電壓范圍內(nèi)（1.15V到2.8V）都可產(chǎn)生著色現(xiàn)象。著色后對光的吸收是一致的。光的透過率顯示電壓超過某一值后，膜的變色能力減弱并消失。XRD顯示本文所得氧化鎢薄膜主要是非晶態(tài)的結(jié)構(gòu)。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時(shí)間： |
2007-07-12 15:24:49 |
| 下載次數(shù)： |
586 |
| 消耗積分： |
2
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