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超聲熱解法制備SnO2∶F薄膜加熱管及其性能研究  
超聲熱解法制備SnO2∶F薄膜加熱管及其性能研究
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 薄膜技術  SnO2:F薄膜  光電特性  超聲噴涂熱解法  
資料大小： 224K
所屬學科： 性能表征
來源： 來源網絡
簡介：
采用超聲噴涂熱解淀積方法將SnO2∶F透明導電薄膜制備于耐高溫的硼硅玻璃管內壁。XRD物相分析及SEM、STM形貌分析表明，SnO2∶F薄膜為多晶結構，平均粒徑50nm。分析了薄膜中F取代SnO2中O的形成過程和薄膜電導率增強的機理，解釋了不同的工藝條件對薄膜的結構、光電特性的影響，確定了制備SnO2∶F薄膜加熱管的最佳工藝條件。該條件下制備的薄膜的電阻率達410-4Ωcm，可見光透過率高于90%，功率密度平均可達35W/cm2。
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上傳時間： 2007-07-13 14:27:41
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