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濺射沉積法制備金薄膜的結構特性 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
表面形貌 正常晶粒生長 反常晶粒生長 LSW理論模型 |
| 資料大小： |
241K |
| 所屬學科： |
結構表征 |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡 |
| 簡介： |
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在不同的生長階段Au膜具有不同的表面微結構。隨著厚度的增加，薄膜晶粒要經(jīng)歷成核、正常晶粒生長和反常晶粒生長過程，在不同的過程中Au膜呈現(xiàn)出不同的表面形貌。在正常晶粒生長階段，薄膜晶粒呈柱狀生長；隨后的反常晶粒生長過程中會出現(xiàn)晶粒吸收現(xiàn)象，使具有較優(yōu)取向的晶粒越長越大。X射線衍射圖（XRD）顯示Au膜具有（111）面取向優(yōu)勢。利用LSW理論模型計算并解釋了晶粒反常生長過程。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-06 14:58:41 |
| 下載次數(shù)： |
592 |
| 消耗積分： |
2
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