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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
超低介電常數 “三明治” 電紡 聚酰亞胺 多面體低聚倍半硅氧烷 |
| 資料大?。?/td>
| 418K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2011年全國高分子學術論文報告會（2011.9.24~28，大連） |
| 簡介： |
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為滿足超大規模集成電路尺寸的逐漸縮小對超低介電常數材料的需求，本文利用靜電紡絲技術和特殊的熱處理工藝制備了具有“三明治”結構的超低介電膜，并引入多面體低聚倍半硅氧烷（POSS）以進一步降低其介電常數。 |
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| 作者： |
楊揚，趙超越，陳橋，吳剛
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| 上傳時間： |
2012-03-01 14:12:58 |
| 下載次數： |
1 |
| 消耗積分： |
4
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