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鈣鈦礦型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多層膜的激光分子束外延生長(zhǎng)研究

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關(guān)鍵詞：

激光分子束外延 SrTiO3/BaTiO3 多層膜反射式高能電子衍射原子力顯微鏡

資料大小：

155K

所屬學(xué)科：

分子表征

來(lái)源：

2004年第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議（9.12-9.16，北京.秦皇島）

簡(jiǎn)介：

用激光分子束外延技術(shù)在SrTiO3（001）襯底上外延生長(zhǎng)SrTiO3/BaTiO3多層膜，通過(guò)反射式高能電子衍射（RHEED）原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并結(jié)合原子力顯微鏡（AFM），研究了不同基片溫度下所生長(zhǎng)薄膜的表面平整度，利用X射線(xiàn)衍射（XRD）對(duì)外延薄膜進(jìn)行了結(jié)構(gòu)分析，結(jié)果表明薄膜具有二維生長(zhǎng)模式，在基片溫度為380~470℃之間生長(zhǎng)的薄膜具有原子級(jí)光滑，并且具有完全C軸取向。同時(shí)運(yùn)用X射線(xiàn)光電子能譜（XPS）研究了薄膜界面的互擴(kuò)散,結(jié)果表明降低制備薄膜時(shí)的基片溫度有利于減少互擴(kuò)散。

作者：

姚海軍李燕羅佳慧姜斌鄧宏蔣書(shū)文

上傳時(shí)間：

2007-07-09 15:15:44

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