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| 資料類型： |
Word文件
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| 關鍵詞： |
微機電系統 有限元法 多孔硅ANSYS 微波 襯底 |
| 資料大小： |
1736K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2008年第十五屆全國復合材料學術會議(7.24-7.26，哈爾濱) |
| 簡介： |
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理論分析MEMS微波懸臂梁開關的材料與MEMS功能極為相關的若干特性，用物理機理支持了多孔材料之引入，以達到器件高性能和襯底低成本的兼顧，并給出了引入后的制備流程全覽；然后闡述了基于有限元方法的典型材料梁結構的功能分析，即用ANSYS軟件對MEMS場分布進行了模擬，經過比較得出：MEMS開關懸臂閉合的驅動臨界電壓值隨著金屬懸臂材料楊氏模量的增大而增大，隨著雙層結構中兩種材料參數匹配度的增大而減小。 |
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| 作者： |
葛羽屏 紀江明
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| 上傳時間： |
2008-09-23 17:16:41 |
| 下載次數： |
2 |
| 消耗積分： |
2
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