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電化學沉積CNx薄膜的摩擦性能研究 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
CNx薄膜 電化學沉積 摩擦學性能 |
| 資料大小： |
202K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島） |
| 簡介： |
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以單晶硅片（100）為襯底，尿素－甲醇有機溶液為沉積液，用電化學沉積的方法在陰極制備出CNx薄膜。通過AFM、XPS、Raman光譜和FTIR光譜對得到的CNx薄膜的表面形貌和微觀結構進行了表征，并在球－盤摩擦試驗機上考察了薄膜的干摩擦性能，用SEM和EDS對摩擦表面進行了分析，研究了摩擦機理。結果表明：薄膜表面致密，但粗糙度較大；Raman光譜中出現明顯的D峰和G峰，說明薄膜具有無定形的結構特征；薄膜的化學元素組成主要為C，還有少量的N，C、N原子之間主要以共價單鍵和雙鍵形式結合。CNx薄膜與紅寶石球對摩時，摩擦系數隨頻率的增大而升高，但幾乎不隨載荷而變化；CNx薄膜在形成轉移膜的過程中不僅失去了N，而且發生了石墨化，這與DLC膜的摩擦過程非常相似。 |
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| 作者： |
陳剛 閻興斌 劉惠文 徐洮
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| 上傳時間： |
2007-07-13 14:47:48 |
| 下載次數： |
615 |
| 消耗積分： |
2
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