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電化學沉積CNx薄膜的摩擦性能研究  
電化學沉積CNx薄膜的摩擦性能研究
資料類型: PDF文件
關鍵詞: CNx薄膜  電化學沉積  摩擦學性能  
資料大小: 202K
所屬學科: 分子表征
來源: 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡介:
以單晶硅片(100)為襯底,尿素-甲醇有機溶液為沉積液,用電化學沉積的方法在陰極制備出CNx薄膜。通過AFM、XPS、Raman光譜和FTIR光譜對得到的CNx薄膜的表面形貌和微觀結構進行了表征,并在球-盤摩擦試驗機上考察了薄膜的干摩擦性能,用SEM和EDS對摩擦表面進行了分析,研究了摩擦機理。結果表明:薄膜表面致密,但粗糙度較大;Raman光譜中出現明顯的D峰和G峰,說明薄膜具有無定形的結構特征;薄膜的化學元素組成主要為C,還有少量的N,C、N原子之間主要以共價單鍵和雙鍵形式結合。CNx薄膜與紅寶石球對摩時,摩擦系數隨頻率的增大而升高,但幾乎不隨載荷而變化;CNx薄膜在形成轉移膜的過程中不僅失去了N,而且發生了石墨化,這與DLC膜的摩擦過程非常相似。
作者: 陳剛 閻興斌 劉惠文 徐洮
上傳時間: 2007-07-13 14:47:48
下載次數: 615
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