目前本課題組的研究方向為微電子學(xué)與固體電子學(xué)方向。研究重點是超高性能平板顯示器件中的柔性透明薄膜晶體管的研究。本課題組主要實驗設(shè)備包括：磁控濺射系統(tǒng)、離子束濺射系統(tǒng)、熔膠凝膠系統(tǒng)、等離子體清洗系統(tǒng)、UV-Ozone系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、靜電紡絲系統(tǒng)，原子層沉積系統(tǒng)、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)、掃描電鏡、圖形發(fā)生器、光刻機、蔡司光學(xué)顯微鏡，真空管式爐、馬弗爐、超高精度半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)（測量精度達到10 fA）、超高精度阻抗參數(shù)測量系統(tǒng)等。
歡迎有志于在微電子器件領(lǐng)域進一步深造的研究生和本科生加入我們課題組。
聯(lián)系ema...
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