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PVD薄膜生長(zhǎng)的Monte Carlo模擬

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物理氣相沉積蒙特卡羅模擬薄膜生長(zhǎng)

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模擬技術(shù)

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蒙特卡羅（MonteCarlo，MC）和分子動(dòng)力學(xué)是模擬薄膜生長(zhǎng)的兩種基本方法。本文結(jié)合各種PVD技術(shù)的工藝特點(diǎn)，介紹了薄膜生長(zhǎng)的MonteCarlo模擬。詳盡地總結(jié)了載能粒子沉積薄膜生長(zhǎng)的KineticMonteCarlo模型和算法。最后指出建立精細(xì)的模型、算法并適當(dāng)應(yīng)用分子動(dòng)力學(xué)是提高模擬可靠性的方法。

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2007-07-06 15:47:19

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dengwei 2009-09-11 9:23:25

eeeeeeee

zuowu 2009-03-29 18:49:03

hao `````````````````````````````````````

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