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科研項(xiàng)目
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國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目:全水溶液工藝的高k介電薄膜的低溫制備及TFT器件的集成
國(guó)家軍委科技委項(xiàng)目:XXX和XXX的機(jī)理與關(guān)鍵技術(shù)研究-XXX
國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目:高性能P溝道氧化物薄膜晶體管的制備及器件集成
國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目:溶液法制備超薄高k介電層和InMZnO體系透明薄膜晶體管的關(guān)鍵問(wèn)題研究
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