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大氣開放式MOCVD 方法制備ZnO 薄膜的氣敏特性研究

資料類型：

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關鍵詞：

mocvd zno 碳氫化合物氣敏

資料大小：

531K

所屬學科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

利用大氣開放式MOCVD在氧化鋁基片上沉積ZnO薄膜，研究了沉積工藝參數對薄膜形貌的影響，結果表明基片溫度對ZnO薄膜的晶體形貌有顯著的影響，在一定的條件下能夠沉積出具有高比表面積花瓣片層結構的ZnO薄膜。以酒精蒸氣為例，研究了ZnO薄膜對碳氫有機化合物氣體的氣敏特性，結果表明結晶度高且晶粒細小、比表面積高的薄膜具有較好的氣敏特性。

作者：

沈敬亭，張躍

上傳時間：

2008-06-20 18:02:26

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46919006 2012-04-19 20:42:10

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