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注入溫度對Mn+注入p-GaN 薄膜的結(jié)構(gòu)和磁性影響  
注入溫度對Mn+注入p-GaN 薄膜的結(jié)構(gòu)和磁性影響
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: gan  離子注入  注入溫度  磁性  
資料大小: 241K
所屬學(xué)科: 分子表征
來源: 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
在(0001)面的藍(lán)寶石襯底上用低壓MOCVD法生長p型GaN外延層。對p型GaN薄膜用180keV的Mn+離子注入進行磁性粒子摻雜,注入劑量保持為5.01015cm-2,但注入時p型GaN分別處于室溫、300℃和500℃。對注入的樣品在N2氣流中進行快速熱退火處理,溫度為850℃、時間為30s。用超導(dǎo)量子干涉儀(SQUID)對樣品的磁性進行了分析,室溫下注入樣品的磁響應(yīng)較弱,未發(fā)現(xiàn)鐵磁性;在300℃下注入的樣品中發(fā)現(xiàn)有較強的鐵磁性,更高的500℃的注入溫度并不能進一步增強鐵磁性。結(jié)合用X射線衍射(XRD)對不同注入溫度樣品的結(jié)構(gòu)研究,揭示只有適當(dāng)?shù)淖⑷霚囟龋?00℃)才有利于GaN晶格的恢復(fù)和鐵磁性的產(chǎn)生。
作者: 石瑛,蔣昌忠,范湘軍
上傳時間: 2008-08-22 15:04:34
下載次數(shù): 39
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