中文字幕一区二区人妻,久久久久久久精品免费久精品蜜桃,色婷婷综合久久久中文字幕

退火溫度對磁控濺射制備的β-FeSi2薄膜的影響

資料類型：

PDF文件

關鍵詞：

鐵硅化物退火溫度 β-FeSi2薄膜 XRD SEM RBS

資料大小：

397K

所屬學科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

采用磁控濺射的方法，在高真空條件下，沉積金屬Fe到Si(100)襯底上，然后通過真空退火爐在不同溫度條件下對樣品進行熱處理，直接形成了β-FeSi2薄膜。采用X射線衍射儀（XRD）對樣品進行了晶體結構分析，利用盧瑟福背散射（RBS）對Fe-Si化合物的形成過程中的Fe原子和Si原子的互擴散機理進行了研究，利用掃描電鏡（SEM）對樣品表面的顯微結構進行表征，結果表明，在900℃條件下退火能夠得到質量很好的β-FeSi2薄膜，超過這一溫度β相將開始向α相轉化，到1000℃，β-FeSi2全部轉化為α-FeSi2。

作者：

梁艷，謝泉，曾武賢，張晉敏，楊吟野，肖清泉，任雪勇

上傳時間：

2008-09-08 14:32:06

下載次數：

消耗積分：

立即下載：

好

1人

中

1人

差

1人

友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。

報告錯誤：

1.下載無效　 2. 資料明顯無價值　 3. 資料重復存在

相關評論 共有0人發表評論

更多評論

你還沒有登錄，無法發表評論，請首先

免責聲明：本站部分資源由網友推薦，來自互聯網，版權屬于原版權人，如果不慎侵犯到您的權利，敬請告知，我們會在第一時間撤除。本站中各網友的評論只代表其個人觀點，不代表本站同意其觀點。

最新上傳資料
·	可調的透明導電膜研究進展
·	電子紙顯示ITO電極保護層研究及...
·	THz量子級聯激光器的材料生長和...
·	退火條件對納米ZnO 電致發紅-橙...
·	無機薄膜電致發光器件中絕緣層材...
·	稀土摻雜氮化鎵的發光機理、制備...
·	p-Si TFT柵絕緣層用SiN薄膜的...
·	不同微觀形貌所引起的聚二氧乙撐...
·	具有雙摻雜發射層白光OLED器件...
·	新型雙向傳輸型區域規整噻吩嵌段...
·	樹枝狀8-羥基喹啉鋅的合成和熒光...
·	梯度摻雜LiF提高電子注入與傳輸...
·	噴霧熱解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>>

熱點資料
·	剪切增稠液體的制備及其性能表征
·	Li4Ti5O12/C 復合負極材料的一...
·	有機光電導電材料PEDOT-PSS薄...
·	多孔吸聲材料發展現狀與展望
·	相變恒溫材料六水氯化鈣的研究
·	玻璃纖維增強阻燃PC/ABS 合金性...
·	木質素的結構及其改性研究進展
·	有機太陽能電池ITO 電極的光刻...
·	藍寶石襯底化學機械拋光的機理研...
·	TiO2 介孔光催化劑的制備研究進...
·	固體表面潤濕性機理及模型
·	陶瓷坯釉料配方優化系統的設計
·	微晶纖維素的制備及性質研究
更多>>

相關資料
·	Influence of Film Casting Met...
·	Microfluidic Generation of Mu...
·	Selective Localization of Pre...
·	Control the Location of Inorg...
·	A Facile Way to Fabricate Hyb...
·	Hierarchical Self-Assembly St...
·	The Location, Migration and S...
更多>>

私密直播全婐app免费大渔直播,国产av成人无码免费视频,男女同房做爰全过程高潮,国产精品自产拍在线观看