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BST類鐵電薄膜的最低晶化溫度和自組裝生長研究  
BST類鐵電薄膜的最低晶化溫度和自組裝生長研究
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 鐵電薄膜  BST  外延生長  LMBE  
資料大小: 226K
所屬學(xué)科: 分子表征
來源: 2004年第五屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡介:
利用激光分子束外延技術(shù)(LMBE)在Si(111)、SrTiO3(100)單晶基片上在(10-5Pa)高真空環(huán)境中外延生長SrTiO3(STO)、BaTiO3(BTO)、Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)鐵電薄膜。通過反射高能電子衍射(RHEED)實時監(jiān)測薄膜生長,并結(jié)合原子力顯微鏡(AFM)分析薄膜的生長模式。根據(jù)RHEED衍射強度振蕩曲線及衍射圖樣的變化確定動態(tài)和靜態(tài)最低晶化溫度,發(fā)現(xiàn)STO、BTO、BST三種鐵電薄膜可以分別在280℃、330℃、340℃的低溫下實現(xiàn)外延層狀生長。當保持BTO(110)/Si(111)層狀生長,逐漸降低沉積速率時,發(fā)現(xiàn)這種層狀模式中每層高度是由整數(shù)倍單胞堆積而成,并且隨著沉積速率從0.017nm/s降低到0.005nm/s時,每層高度由9降低到1個BTO單胞構(gòu)成,這對由ABO3鈣鈦礦材料自組裝形成納米結(jié)構(gòu)具有重要意義。
作者: 李金隆 張鷹 李言榮 鄧新武 熊杰
上傳時間: 2007-07-13 13:23:38
下載次數(shù): 616
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