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The Interfacial Engineering for the Fabrication of EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices on Glass Substrates

資料類型：

PDF文件

關鍵詞：

EpoxyMicrofluidic-photonic-integrated Devices

資料大小：

319K

所屬學科：

分子表征

來源：

2009第四屆中歐增強高聚物工藝與性能國際學術會議（6.8-6.12，桂林）

簡介：

FabricatingepoxySU-8-basedmicrofluidicandphotonicdevicesonglasssubstrates,suchaspyrexwafers,hasproventobeverydifficult.Thereasonisthatitishardtocompletelyremoveresidualmaterialbetweenpatternedstructureswhileobtainingsufficientbondingofthestructurestothepyrexsurface..

作者：

THOMAS KOWPAK, BENJAMIN R. WATTS, SHIPING ZHU, CHANG-QING XUAND ZHIYI ZHANG

上傳時間：

2009-08-03 9:58:27

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