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金剛石膜中氮雜質狀態的研究 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
EA-CVD方法 金剛石膜 氮雜質 |
| 資料大小： |
124K |
| 所屬學科： |
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| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
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用EA-CVD(ElectronassistedChemicalVaporDeposition)方法制備出金剛石膜，并且用拉曼光譜、熒光譜、紅外吸收譜和順磁共振譜研究了金剛石膜中的氮雜質。實驗結果表明，用EA-CVD方法制備的金剛石膜中氮雜質主要是以Ns0、Ns+、[N—V]0和[N—V]-1的形式存在，沒有檢測到在天然金剛石和高溫高壓金剛石中常見的A和B中心形式存在的氮雜質。沉積實驗中隨著氫氣流量的增加，也就是金剛石膜沉積環境中氮濃度的減少，金剛石膜中氮雜質含量減少。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-06 13:49:08 |
| 下載次數： |
7040 |
| 消耗積分： |
2
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