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SrTiO3襯底上濺射法外延生長PLZT薄膜 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
SrTiO3襯底 PLZT膜 濺射條件 外延生長 |
| 資料大小： |
163K |
| 所屬學科： |
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| 來源： |
來源網(wǎng)絡 |
| 簡介： |
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用射頻磁控濺射法在SrTiO3襯底上外延生長PLZT薄膜，研究了不同的濺射工藝對薄膜生長速率的影響，探討了不同的后期熱處理條件與薄膜取向度的關系。在SrTiO3襯底上成功制備出外延生長的、厚度達1.5&micro；m的PLZT薄膜。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-13 14:37:15 |
| 下載次數(shù)： |
6991 |
| 消耗積分： |
2
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| 583496785 2008-11-19 18:10:14 |
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