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  柔性壓力傳感器是電子皮膚的關鍵組成部分，其重要性在軟機器人和生物電子學這兩個新興領域日益顯現。其中，電容式壓力傳感器( Capacitive Pressure Sensor, CPS )以其機械柔性、高靈敏度和信號穩定性而受到廣泛關注。經過二十多年的快速發展，基于柔性CPS的電子皮膚已能夠實現類似人皮膚的柔軟性和敏感性。然而，在此領域中仍然還有一些懸而未決的問題。

圖1 多孔或表面陣列微結構介電體

  文章首先簡要回顧了近年來柔性CPS在如何提高靈敏度上取得的成就，過去研究主要通過(1)減小介電層的楊氏模量，(2)提高介電常數的辦法來提高靈敏度。多孔或表面陣列微結構的復合材料能同時滿足上述條件因而能提高靈敏度(圖1)。然而，這些方法只在較小的壓力范圍有效。

圖2在大壓力范圍內具有高靈敏度、低響應時間、可察覺性

圖3 未解決的問題--可拉伸的電容式壓力傳感器

  魯南姝教授是Web of Science高引作者，Nano Letters和Journal of Applied Mechanics副主編，長期深耕于柔性電子的力學，制造與生物集成。歡迎訪問實驗室主頁了解更多相關工作：https://sites.utexas.edu/nanshulu/。

  原文鏈接：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.2c00308