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等離子振動反應(yīng)室的研究  
等離子振動反應(yīng)室的研究
資料類型： PDF文件
關(guān)鍵詞： 硅粉提純  振動陰極  射頻感應(yīng)  
資料大小： 275K
所屬學(xué)科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
通過對振動陰極反應(yīng)室的研究，針對粉粒與金屬陰極接觸的問題，提出新的改進設(shè)計。采用射頻電源感應(yīng)線圈，振動石英管內(nèi)部放電的方式進行刻蝕。既有振動陰極反應(yīng)室的效果，又避免摻入雜質(zhì)，是一種可行的新反應(yīng)室設(shè)計。
作者： 趙亮，尹盛，王敬義，趙伯芳
上傳時間： 2008-05-19 15:41:04
下載次數(shù)： 59
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