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浙大伍廣朋教授課題組 Chem. Mater. : 無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂解決半導(dǎo)體封裝腐蝕難題
2025-05-05  來(lái)源:高分子科技
  集成電路電子封裝材料作為芯片與外部世界的物理界面,是保障微電子器件可靠性運(yùn)作的基石維系摩爾定律持續(xù)演進(jìn)的關(guān)鍵載體。隨著集成電路小型化與高密度封裝技術(shù)的快速發(fā)展,傳統(tǒng)環(huán)氧封裝樹(shù)脂體系中殘留可水解氯離子誘發(fā)線(xiàn)路腐蝕的問(wèn)題日益凸顯。當(dāng)前商用雙酚A二縮水甘油醚(DGEBA)合成路線(xiàn)依賴(lài)于雙酚A與環(huán)氧氯丙烷(ECH)的逐步縮合反應(yīng)(圖1.a),該工藝不可避免地產(chǎn)生含氯副產(chǎn)物。盡管工業(yè)上采用了多級(jí)萃取和離子交換等純化手段,但產(chǎn)物中可水解氯含量仍然難以突破50 ppm的技術(shù)瓶頸,這對(duì)追求長(zhǎng)壽命和高可靠性的先進(jìn)封裝技術(shù)構(gòu)成了重要挑戰(zhàn)。




  近日浙江大學(xué)伍廣朋教授課題組報(bào)道了一種無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂合成策略,他們以磺酸縮水甘油酯替代傳統(tǒng)環(huán)氧氯丙烷為原料,通過(guò)獨(dú)特的γ親核取代反應(yīng)(γ SN2)高效制備高純度雙酚A二縮水甘油醚 - DGEBA。該方法選用具有優(yōu)異離去能力的磺酸酯基替代傳統(tǒng)氯化物,從反應(yīng)源頭消除氯元素引入同時(shí)還顯著抑制了開(kāi)環(huán)副反應(yīng)和低聚物形成,產(chǎn)物純度高達(dá)99%,收率可達(dá)94%制備的無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂作為底部填充膠的基體樹(shù)脂時(shí),展現(xiàn)出優(yōu)異的抗腐蝕性傳統(tǒng)樹(shù)脂因氯離子釋放導(dǎo)致銅焊盤(pán)出現(xiàn)85%面積腐蝕,而新型樹(shù)脂僅呈現(xiàn)輕微表面氧化現(xiàn)象。PCB基板底部填充實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步證實(shí)其服役壽命預(yù)期可延長(zhǎng)3-5相關(guān)成果以Halogen-Free Epoxy with Enhanced Corrosion Resistance for Microelectronics Packaging via γ SN2 Nucleophilic Substitution為題發(fā)表在Chemistry of Materials上。



1.傳統(tǒng)微電子封裝用低氯環(huán)氧樹(shù)脂合成與新型γ親核取代法制備無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂的對(duì)比


合成策略:從源頭消除氯殘留


  傳統(tǒng)DGEBA合成采用雙酚ABA)與環(huán)氧氯丙烷的兩步反應(yīng)路徑,過(guò)程中易生成氯代副產(chǎn)物和低聚物,導(dǎo)致產(chǎn)品中可水解氯含量高達(dá)0.7 g/100 g,遠(yuǎn)超電子封裝材料要求的50 ppm限值1.a。研究團(tuán)隊(duì)以生物基縮水甘油為起始原料,設(shè)計(jì)合成了四種磺酸縮水甘油酯(G-ESG-TSG-BSG-FS),并通過(guò)γ-親核取代反應(yīng)與BA直接縮合,一步生成DGEBA1.b)。實(shí)驗(yàn)表明,磺酸酯的強(qiáng)離去能力顯著提升了反應(yīng)效率,僅需1小時(shí)即可實(shí)現(xiàn)BA的完全轉(zhuǎn)化,環(huán)氧含量超過(guò)80%2.a。其中,對(duì)氟苯磺酸縮水甘油酯(G-FS)表現(xiàn)尤為突出,產(chǎn)物環(huán)氧含量達(dá)99%以上,且通過(guò)簡(jiǎn)單蒸餾即可獲得94%的高收率,產(chǎn)物的組成及結(jié)構(gòu)由質(zhì)譜及晶體結(jié)構(gòu)表征(2.b-c)。



2 高純度無(wú)鹵DGEBA的合成


機(jī)理與動(dòng)力學(xué)研究


  為闡明縮水甘油磺酸酯與BAγ親核取代反應(yīng)機(jī)理,本研究設(shè)計(jì)合成了兩種關(guān)鍵模型化合物:2-丙基環(huán)氧乙烷基-對(duì)氟苯磺酸EP-FS)和2-(3-氯丙基)-環(huán)氧乙烷(EP-Cl)。兩者均含三個(gè)亞甲基連接環(huán)氧基團(tuán)和離去基團(tuán),可有效排除兩步法路徑中分子內(nèi)環(huán)化重新生成環(huán)氧基團(tuán)的可能,從而通過(guò)產(chǎn)物結(jié)構(gòu)直接判定反應(yīng)機(jī)理。核磁分析明確顯示:EP-FS與苯酚反應(yīng)成功實(shí)現(xiàn)環(huán)氧化(3.a),而EP-Cl與苯酚僅生成開(kāi)環(huán)產(chǎn)物(3.b),證實(shí)了縮水甘油磺酸酯和酚類(lèi)化合物通過(guò)一步親核取代生成縮水甘油醚的獨(dú)特反應(yīng)路徑。


  進(jìn)一步的研究通過(guò)系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)揭示了離去基團(tuán)效應(yīng)。在選擇的四種丙基磺酸酯模型化合物中(以避免環(huán)氧基的干擾),它們與苯酚的反應(yīng)均表現(xiàn)出典型的二級(jí)動(dòng)力學(xué)特征(參見(jiàn)3c)。特別地,丙基對(duì)氟苯磺酸酯(P-FS)顯示出最低的活化能(61.9 kJ/mol,參見(jiàn)3d),這一結(jié)果為其極高的反應(yīng)活性提供了理論上的解釋。



3 模型化合物反應(yīng)及反應(yīng)動(dòng)力學(xué)研究


普適性與工業(yè)化潛力


  該方法不僅適用于DGEBA的合成,還可拓展至多種功能性環(huán)氧樹(shù)脂的制備。本研究成功合成了含三氟甲基的雙酚AF二縮水甘油醚(DGEBAF)、聯(lián)苯型環(huán)氧樹(shù)脂(DGEBP)以及萘環(huán)結(jié)構(gòu)環(huán)氧樹(shù)脂(DGEN)等七種高性能材料,收率均在70%以上(4)。此外,團(tuán)隊(duì)還驗(yàn)證了百克級(jí)放大的可行性,展現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景。



4 環(huán)氧化反應(yīng)底物范圍拓展


無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂的性能表征與應(yīng)用評(píng)估


  與傳統(tǒng)商用DGEBAD.E.R. 332)相比,本研究開(kāi)發(fā)的無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì):1)黏度特性?xún)?yōu)異(25°C時(shí)<4.5 Pa·s),加工性能更佳(圖5a2)可水解氯含量極低(<5 ppm),純度更高(圖5b3在模擬銅箔層壓板和底部填充膠Underfill的應(yīng)用測(cè)試中,無(wú)鹵DGEBA表現(xiàn)出更低的腐蝕性(圖5c經(jīng)過(guò)1500小時(shí)加速老化后,商用樹(shù)脂因氯離子釋放導(dǎo)致銅箔出現(xiàn)嚴(yán)重綠色腐蝕斑點(diǎn),而無(wú)鹵樹(shù)脂僅因氧化輕微變色。PCB基板的底部填充測(cè)試同樣證實(shí),無(wú)鹵樹(shù)脂對(duì)焊盤(pán)無(wú)腐蝕,而傳統(tǒng)樹(shù)脂則導(dǎo)致焊盤(pán)中心完全腐蝕。這些結(jié)果充分證明了制備的無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂在微電子封裝應(yīng)用中的可靠性和先進(jìn)性。



5 無(wú)鹵DGEBA與市售DGEBAD.E.R.332)的黏度、氯含量及腐蝕性對(duì)比


小結(jié)


  本研究以生物基縮水甘油為起始原料,采用磺酸縮水甘油酯替代傳統(tǒng)的環(huán)氧氯丙烷,從源頭上消除了氯離子的引入,成功制備了一系列高純度無(wú)鹵環(huán)氧樹(shù)脂。該方法具有反應(yīng)條件溫和、易于規(guī)模化生產(chǎn)的特點(diǎn)同時(shí)具有廣泛的底物適用性,能夠靈活制備多種功能性封裝環(huán)氧樹(shù)脂。所制備的無(wú)鹵DGEBA在作為預(yù)浸料和底部填充膠的基體樹(shù)脂時(shí),表現(xiàn)出卓越的抗腐蝕性能,顯著延長(zhǎng)了半導(dǎo)體器件的使用壽命。此項(xiàng)研究為微電子封裝材料的性能提升和可靠性增強(qiáng)提供了全新的設(shè)計(jì)思路和潛在的解決方案。該研究獲得了國(guó)家自然科學(xué)基金的資助。


  論文鏈接:Qian, Z.(錢(qián)梓釗); Zhu, X.-F.(朱小鋒); Chen, Z.(陳峙宇); Li, B.(李博); Yang, G.-W.(楊貫文); Wu, G.-P*(伍廣朋). Halogen-Free Epoxy with Enhanced Corrosion Resistance for Microelectronics Packaging via γ SN2 Nucleophilic Substitution. Chemistry of Materials 2025.

  DOI: 10.1021/acs.chemmater.5c00097.

  https://pubs.acs.org/doi/full/10.1021/acs.chemmater.5c00097

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