 |
MOCVD制備定向生長ZnO壓電薄膜 |
|
|
|
| 資料類型： |
PDF文件
|
| 關鍵詞： |
ZnO薄膜 MOCVD 定向生長 壓電雙晶片 |
| 資料大小： |
147K |
| 所屬學科： |
分子表征 |
| 來源： |
2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島） |
| 簡介： |
|
采用大氣開放式金屬有機化合物化學氣相沉積（A-MOCVD）的方法，在普通多晶黃銅基片上制備ZnO薄膜。薄膜的SEM、XRD結果表明ZnO沿C軸取向垂直生長在基片上。綜合分析ZnO自身晶體生長習性，提出了ZnO薄膜在普通多晶銅表面的生長模型。并將ZnO薄膜制備成壓電雙晶片元件，在光學顯微鏡下能觀察到元件尖端產生了很大的位移量，結果表明高定向性ZnO薄膜具有優異的壓電特性。該壓電器件使得傳統的小變形雙晶片元件的數學模型失效，有必要建立新型大變形雙晶片物理、數學模型。 |
|
| 作者： |
林煌 袁洪濤 童強 張陽 張躍
|
| 上傳時間： |
2007-07-12 16:31:00 |
| 下載次數： |
616 |
| 消耗積分： |
2
|
| 立即下載： |
|
|
| 友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。 |
|
| 報告錯誤： |
1.下載無效
2. 資料明顯無價值
3. 資料重復存在 |
| |
|
|
| 你還沒有登錄，無法發表評論，請首先 |
 |
| 免責聲明：本站部分資源由網友推薦，來自互聯網，版權屬于原版權人，如果不慎侵犯到您的權利，敬請告知，我們會在第一時間撤除。本站中各網友的評論只代表其個人觀點，不代表本站同意其觀點。 |
|
|
|
|
