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MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結構和光學性質  
MOCVD法制備SnO2單晶薄膜的結構和光學性質
資料類型： PDF文件
關鍵詞： MOCVD  SnO2單晶薄膜  藍寶石襯底  
資料大小： 483K
所屬學科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
用金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD）法在藍寶石(0001)襯底上制備出高質量的氧化錫（SnO2）單晶薄膜。對制備薄膜的結構和光學性質進行了研究。制備樣品具有純SnO2的四方金紅石結構，其外延生長方向為SnO2(100)∥Al2O3(0001)。薄膜均勻、致密，具有很好的取向性和結晶性。透射譜測量結果表明，在可見光區薄膜的絕對透過率達到了90%以上。
作者： 馮先進，馬 瑾，楊 帆，欒彩娜
上傳時間： 2008-09-09 17:13:06
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